單溫區PE-CVD系統

產品簡介

單溫區PE-CVD系統采用高性能射頻電源，等離子體更穩定；滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產生區；可實現快速升溫和降溫功能；與傳統CVD相比較，生長溫度更低。

產品型號：

更新時間：2025-03-18

廠商性質：生產廠家

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品牌	科冪儀器	升溫速度（達到最高溫）	10℃/min
加熱方式	電阻絲	最大功率	3kW
控溫精度	±1℃	最高溫度	1150℃
價格區間	面議	儀器種類	管式爐
產地類別	國產	應用領域	化工,生物產業,石油,能源,制藥/生物制藥

單溫區PE-CVD系統

產品特點：

單溫區PE-CVD系統采用高性能射頻電源，等離子體更穩定；

滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產生區；

可實現快速升溫和降溫功能；與傳統CVD相比較，生長溫度更低。

技術參數

型號：TFE - 1200 - 50 - 220

設計溫度：1150℃（短期）

額定溫度：1100℃

推薦升溫速率：≤10℃/min

控制精度：±1℃

爐管尺寸：Φ30/50/60*1200mm

爐膛尺寸：Φ80*220mm

加熱區長度：220mm

恒溫區長度：80mm

加熱元件：優質國產電阻絲

額定功率：3KW

供氣系統：

①三路高精度MFC

②量程0-500sccm（可定制）

射頻電源：

①射頻功率：5-500W；

②射頻頻率：13.56MHz；

③匹配方式：自動匹配

真空系統：雙級旋片真空泵（可定制擴散泵分子泵等）

外形尺寸：1250*510*810mm

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單溫區PE-CVD系統采用高性能射頻電源，等離子體更穩定；滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產生區；可實現快速升溫和降溫功能；與傳統CVD相比較，生長溫度更低。

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